(1)酒石酸鹽 用酒石酸鹽作絡合劑的溶液穩定性較差,不含穩定劑時,很容易分解,工作溫度不能高,沉積速度慢,鍍層韌性差,成本較高。 (2)EDTA 用EDTA作絡合劑的溶液穩定性好,可在較高溫度下工作,能得到較厚的銅層,鍍層性能好,成本也較高。 (3)酒石酸鹽和EDTA混合絡合劑 這種雙絡合劑溶液穩定性好,鍍層性能好,可得到較厚銅層,成本也比單一的EDTA溶液低。 (4)含ATMP和HEDP的溶液 這種溶液穩定性能好,工作溫度較低,鍍層韌性好,但沉積速度慢。 (5)三乙醇胺 三乙醇胺作絡合劑可獲得極快的沉積速度,但外觀較為粗糙,色澤發灰。 從以上絡合劑的使用分析來看:EDTA和酒石酸鹽適用于化學鍍銅,而隨著化學鍍銅的發展,選用的絡合劑也正向混合絡合劑的方向發展,如用酒石酸鹽代替部分價格昂貴的EDTA,這種組合的絡合劑溶液穩定性高,也降低了成本,提高了經濟效益。 (6)甘油 用甘油作絡合劑的鍍銅溶液,其沉銅速度隨著甘油濃度的增加而有所減少,沉銅的速度與pH值的關系和酒石酸鹽溶液相反,是隨著pH值的增加而降低的。這是因為:在甘油鍍液中,pH值高時,表面很容易鈍化,當pH值=l3.3時,由于鍍件表面鈍化,能使沉銅過程中斷,這種現象可能是絡合劑本身將Cu2+還原成Cu20所導致。 (7)ATMP 以ATMP作二價銅的絡合劑的鍍液,其沉銅速度與AT—MP/Cu2+的比值有關,當比值為(2~3):1時,沉銅速度穩定,當比值大于(2~3):1時,沉銅速度就會下降。 |